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RM 155

RM 155
マスフロメータの基本的な構成は、熱式質量流量センサ、バイパス層流素子、ブリッジ回路から成り立っています。センサに巻き付けた抵抗体に電流を流し発熱させます。入り口から入ったガスの一部がセンサに流れ込むとセンサの温度分布に変化が起こり、これをブリッジ回路で捉え流量出力信号として取り出します。

・コンパクトサイズで60SLMクラスの領域まで流量計測が可能。
・専用電源をご用意できます。

型番

RM-155

一般仕様

測定流量レンジ
(フルスケール表示)
1SLM、2SLM、5SLM、10SLM 20SLM (50SLM)
流量単位 SLM(0℃、1atm)
測定対象ガス Air、N2、O2
流量精度 F.S.±2% F.S±3%
再現性 ±0.5%F.S以内
最低動作差圧 65Pa~2kPa以上 3kPa~9.8kPa以上
使用使用不可圧力 980kPa(10kgf/cm2G)
耐圧 980kPa(10kgf/cm2G)
外部リーク規格 1×10-7Pa・m3/sec以下
使用可能温度 5~60℃(精度保証:15℃~35℃)
流量出力信号 0~5VDC(出力インピーダンス45Ω)
使用電源 +15V±0.5VDC 40mA
-15V±0.5VDC 10mA
本体接続口 Rc1/4
ガス接続部材質 SUS303、バイトン
外観寸法 59×26.6×65(mm)
重量 350g

型番

RM-155 専用瞬間表示計
マスフロ専用電源に接続することにより、瞬時流量を測定することができます。

一般仕様

流量表示 LED数字素子 文字高さ(8mm)赤色
電源 DC5V±5% 120mA MAX
外観寸法 48(W)×24(H)×73(D)mm
重量 約46g(本体のみ)

型番

RM-155型 専用電源
流量表示器専用電源を内蔵。流量出力信号は0~5V DC及び4~20mA DCが共に取り出せます。

一般仕様

機種 RM245型電源
使用電源 AC100V±15%、50/60Hz 10VA
流量出力信号1 0~5V DC出力インピーダンス 47Ω
(受信器入力インピーダンス100kΩ)
流量出力信号2 4~20mA DC 負荷抵抗値 1kΩ
流量表示器接続端子 コネクタ端子付(4p)
重量 約350g
外観寸法 102×125×30(mm)